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RWS单臂晶圆机器人
RWS单臂晶圆机器人
探用HIWIN自裂高精密、高刚性直驱马达,重复精度土0.02mm。
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产品描述
可依客户生产需求提供手臂客掣化服务。适用于半导体产业(晶圆取放)、光电产业(小型面板、小型太阳能板)、LED产业(蓝宝石基板、胶环)等取放设备。
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